Bestseller Waffelheizer 2026

Tue, 02 Jun 2026 06:10:14 +0800

Auf dem Fertigungsboden kennen Sie das Vorgehen: Eine halbe Grad Abweichung während des Soft Bake oder Hard Bake kann kritische Maße verschieben und die Ausbeute verringern. Der Wafer-Heizer 2026 wurde für das tatsächlich genutzte Prozessfenster entwickelt – enge Temperaturkontrolle, sauberes Arbeiten und Wiederholgenauigkeit Schicht für Schicht.

Was unter der Haube zählt
Wir setzen kurzwellige Infrarotstrahlung mit einer Quarz-Halogen-Quelle und einem kartierten, geschlossenen Zonenregelkreis ein. Das Ergebnis ist eine Wafer-gleichmäßigkeit innerhalb von ±0,1°C über Substrate von 150–300 mm. Die Temperaturanstiegsraten erreichen 10°C/s mit kontrolliertem Überschwingen, sodass dünne Filme intakt bleiben und das thermische Budget unter Kontrolle bleibt.
Die Oberflächentemperatur wird in situ gemessen, und die Rezeptausführung hält die Sollwertstabilität unter Last bei ±0,5°C. Die Reinraumkompatibilität ist keine Zusatzfunktion – Betrieb in Klasse 1–100, null Partikelgenerierung durch Inline-Überwachung verifiziert und eine Abluftführung, die Ausgasungen daran hindert, auf benachbarte Anlagen überzugreifen. Die Versorgung erfolgt mit 24 V DC und CE-konformer Isolierung, das Gerät ist kompakt genug, um in Standard-Handler sowie Coat/Bake-Strecken integriert zu werden.

2026 on Extra Performance IR Heating

Bestseller Waffelheizer 2026