http://ir-heat-extra.com/de/tags/gezonnt/ Recent content in Gezonnt on Extra Performance IR Heating Hugo de Thu, 02 Jul 2026 08:57:34 +0800 http://ir-heat-extra.com/de/posts/zoned-wafer-drying-infrared-panel/ Thu, 02 Jul 2026 08:57:34 +0800 http://ir-heat-extra.com/de/posts/zoned-wafer-drying-infrared-panel/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Infrarot Platte zur Trocknung von Wafern in verschiedenen Zonen"></p> <p>In der Fertigungsstätte lässt ein 5-nm-Prozessschritt keinen Spielraum für Fehler. Schon eine Temperaturdifferenz von 0,3 °C auf der Wafer-Oberfläche kann zu Veränderungen in der CD-Wertigkeit führen und nach dem Ätzen Reste des Fotolacks hinterlassen. Und das herkömmliche Trocknen? Die Ränder bleiben weiterhin feucht. <a href="https://goldisgood.com">Methoden</a>, bei denen nur Rotation verwendet wird, verschwenden Lösungsmittel und sorgen dafür, dass man nachts noch an den entstandenen Partikeln denken muss.</p> <p>Wir haben daher ein zonales Infrarot-System entwickelt, um diese Unsicherheiten dort auszuschließen, wo die Wafer die Reinigungsanlage verlassen.</p>