Energieeffizientes Halbleiterheizen

Sun, 12 Jul 2026 09:53:44 +0800

Stoppen Sie den „Glasregen“: Schützen Sie Ihre Quarztuben vor Schäden
In einer Hochleistungssemikondensatorenanlage ist das Platzen einer Infrarotlampe ein Albtraum. Es geht nicht nur darum, dass die Maschine zum Stillstand kommt – es entsteht außerdem Chaos. Stellen Sie sich vor: Glasscherben und Halogengas fallen direkt auf Ihre Wafer. Ein einziger Defekt bedeutet, dass die ganze Charge unbrauchbar wird. Danach muss man stundenlang die Kammer reinigen. Wir haben viel Zeit damit verbracht, herauszufinden, wie man verhindern kann, dass so etwas passiert.

Halbleiter Infrarot Heizlampe

Wed, 01 Jul 2026 12:55:33 +0800

Im Produktionsbereich gilt folgendes Prinzip: Schon eine Temperaturänderung von 1 °C während des Trocknungsprozesses des Fotolacks reicht aus, um die kritischen Abmessungen der Wafers zu verändern – mit dem Ergebnis, dass viele Wafers unbrauchbar werden. Wir haben unsere Halbleiter-Infrarotheizlampen so entwickelt, dass diese Unsicherheiten vollständig beseitigt werden.

Was wirklich wichtig ist
Wir nutzen Infrarotstrahlung mit Kurzwellenlänge, die durch ein Quarzkerngehäuse geleitet wird. Dadurch entsteht eine direkte Wärmeabgabe – schnell und kontrollierbar. Auf der gesamten Fläche des Wafers bleibt die Temperatur bei ±0,1 °C konstant. Dadurch werden Temperaturunterschiede vermieden, die sonst die Belichtung und Entwicklung negativ beeinflussen könnten. Die Lampen werden in Reinräumen der Klasse 1–100 eingesetzt. Die kontinuierliche Überwachung stellt sicher, dass keine Partikel entstehen. Die Wiederholgenauigkeit liegt bei 0,5 % pro Zyklus. Zudem bleibt die thermische Stabilität über 5.000 Stunden hinweg bei weniger als 5 % Leistungseinbußen.

Heizen on Extra Performance IR Heating

Energieeffizientes Halbleiterheizen

Halbleiter Infrarot Heizlampe