http://ir-heat-extra.com/de/tags/mems/ Recent content in MEMS on Extra Performance IR Heating Hugo de Mon, 27 Jul 2026 06:35:43 +0800 http://ir-heat-extra.com/de/posts/achieving-zero-contamination-heating-for-mems-wafer-drying-via-high-purity-quartz-ir-lamps/ Mon, 27 Jul 2026 06:35:43 +0800 http://ir-heat-extra.com/de/posts/achieving-zero-contamination-heating-for-mems-wafer-drying-via-high-purity-quartz-ir-lamps/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Heizgerät zum Trocknen von MEMS Sensorwafern"></p> <p><strong>Die richtige Trocknung von MEMS-Wafern – ohne Kontaminationsprobleme</strong><br> Bei der Trocknung von MEMS-Sensoren ist Wärme nur die halbe Miete. Der eigentliche Kampf erfolgt gegen Partikel.<br> Wenn Sie in einem Reinraum der Klasse 100 arbeiten, kennen Sie die Situation: Schon eine winzige Menge an Abgasen oder ein Staubkorn vom Heizelement können dazu führen, dass ganze Chargen von Wafern unbrauchbar werden. Das ist eine stressige Arbeitsweise. Deshalb verwenden wir Hochreinheits-Synthetikquarzlampen.</p> <p><strong>Warum Quarz wichtig ist</strong><br> Günstiges Glas oder minderwertiger Quarz kann dem Druck nicht standhalten. Nach einigen Wärmezyklen beginnen sie zu zerfallen und geben mikroskopisch kleine Partikel ab. Das ist natürlich nicht gut.<br> Wir verwenden <a href="https://o-yate.net">hochreinen</a> geschmolzenen Siliziumdioxid, denn dieser bleibt bei extremen Temperaturen fest und gibt keine Gase ab. Das Tolle daran: Die Infrarotstrahlung trifft direkt auf die Feuchtigkeit auf der Wafernoberfläche. Dadurch wird das Wasser <a href="https://o-yate.com">sofort</a> verdampft – ohne dass der gesamte Raum in einen Ofen verwandelt wird.</p>