Ofen on Extra Performance IR Heating

Oven mit Infrarotheizer für Reinräume

Sat, 25 Jul 2026 04:42:05 +0800

Hören Sie auf, Wärme in Ihren Waferöfen zu verschwenden!
Wenn man einen Ofen für saubere Räume entwirft, hat man ein klares Ziel: Die Wärme vom Heizelement direkt auf den Wafer übertragen. Einfach, oder? Doch das Problem ist: Der größte Teil der teuren Energie wird stattdessen in die Wände des Ofens absorbiert, anstatt tatsächlich zum Einsatz zu kommen.

Wir haben eine Lösung gefunden – durch den Einsatz von mit Gold beschichteten Reflektoren. Wahrscheinlich haben Sie bereits Standard-Aluminium-Reflektoren verwendet. Sie sind zwar in Ordnung, doch sie absorbieren zu viel Energie. Gold verändert das Ganze: Es reflektiert einen viel höheren Prozentsatz des Infrarotlichts dorthin zurück, wo es hingehört – direkt auf den Wafer.

Heizelement für Vakuumöfen

Sat, 04 Jul 2026 11:13:37 +0800

Heizelemente für Vakuumöfen: Entwickelt für die Hochleistungswaferproduktion
Wir konkurrieren direkt mit den führenden Herstellern von Heizelementen für Vakuumöfen. Denn wir kennen die hohen Anforderungen bei der Produktion hochwertiger Wafer. Es geht hier nicht um PR – sondern darum, auch unter Druck gute Leistungen zu erbringen.

Was wirklich zählt
Ein Heizelement für Vakuumöfen hat nur eine Aufgabe: Stabile Wärme in einer niedrigen Druckumgebung bereitzustellen. Die Details sind entscheidend dafür.
Wir passen Leistung und Spannung an das elektrische Profil Ihres Geräts an, damit Sie die gewünschte Temperatur erreichen, ohne die Stromversorgung zu überlasten.
Die Toleranzen sind sehr gering. Wenn Sie ein 300-mm-Heizelement verwenden, muss es perfekt in die Kammer passen. Schon ein kleiner Spalt kann zu Hotspots und ungleichmäßiger Erwärmung führen. Es gibt keinen Spielraum.

Hoche Temperaturofen für Fab Lab

Sat, 27 Jun 2026 04:57:25 +0800

In der Fertigungshalle bestimmen die Parameter „weicher Backvorgang“ und „harter Backvorgang“ den Ablauf des Prozesses – die Temperaturkontrolle ist dabei keine Einstellung, die man einfach justieren kann, sondern eine feste Grenze. Eine Schwankung der Temperatur um 2°C während des Backvorgangs kann dazu führen, dass kritische Abmessungen verändert werden. Zudem kann bereits ein einziger Partikel in der Kammer dazu führen, dass eine 300-mm-Waferbeschichtung zerstört wird. Wir haben unseren Hochtemperaturofen so konstruiert, dass er mit diesen Realitäten umgehen kann – anstatt gegen sie anzukämpfen.

LPCVD Ofenheizelement

Sun, 31 May 2026 04:52:44 +0800

Out on the line arbeitet der LPCVD-Ofen wie ein Druckbehälter, der seine Bedingungen diktiert – stabile Temperatur, enge Gleichmäßigkeit und kein Spielraum für Partikelausreißer. Eine einzige Temperaturschwankung während der Polysilicium- oder Nitridabscheidung kann sich als Dicke-Uneinheitlichkeit über das gesamte Charge hinweg bemerkbar machen. Ein Hotspot kann die Profilierung des Fotolacks in den direkt angrenzenden Backmodulen verfälschen. Das Heizelement des Ofens ist keine reine Hintergrundhardware; es ist das thermische Instrument, das bestimmt, wie reproduzierbar Ihr thermisches Budget tatsächlich ist.

Infrarotheizung bietet eine direkte, Sichtlinien-kontrollierte Wärmequelle, die herkömmliche Strahlungsplatten nicht erreichen können. Wir konstruieren das LPCVD-Heizelement um kurzwellige Infrarotlampen (NIR), kombiniert mit einer quarzbasierten thermischen Architektur, sodass Sie eine submillimetergenaue Kontrolle des Temperaturfeldes erhalten. Das Ergebnis ist ein thermisches Profil, auf das Sie Charge für Charge vertrauen können.