Energieprüfung für die Trocknungsanlage

Thu, 23 Jul 2026 11:52:57 +0800

Warum Halbleiterfabriken auf Konvektionsöfen verzichten und stattdessen Infrarot-Technologie nutzen
Wenn Sie kürzlich einmal in einer Halbleiterfabrik waren, haben Sie vermutlich bemerkt, dass diese großen, unhandlichen Konvektionsöfen allmählich verschwinden. Stattdessen wird zunehmend die Infrarot-Technologie eingesetzt. Warum? Weil es sinnlos ist, ganze Räume zu heizen, nur um ein kleines Stück Silizium zu trocknen. Infrarotstrahlung wirkt direkt auf das Substrat. Deshalb weisen „umweltfreundliche“ oder „bleifreie“ Produkte heutzutage fast immer auf die Infrarot-Technologie hin.

Die Physik dahinter ist eigentlich ziemlich einfach.
Stellen Sie sich einen Konvektionsofen vor: Dabei wird die Luft erhitzt, die anschließend die Wände erwärmt – und schließlich auch Ihr Produkt. Damit die Luft weiterhin in Bewegung bleibt, sind starke Lüfter notwendig. Zudem geht viel Energie durch die Wände verloren. Bei der Infrarot-Technologie ist das anders: Es werden elektromagnetische Strahlen verwendet. Die Energie gelangt direkt in den Photoresist oder das Klebstoffmaterial. Das ist schneller – wirklich sehr schnell. Wenn man kurzwelliges Infrarot verwendet, dringt die Energie noch tiefer in das Material ein. Dadurch können dickere Schichten behandelt werden, ohne dass die Oberfläche beschädigt wird.

Prüfung on Extra Performance IR Heating

Energieprüfung für die Trocknungsanlage