http://ir-heat-extra.com/de/tags/probe/ Recent content in Probe on Extra Performance IR Heating Hugo de Fri, 03 Jul 2026 08:56:58 +0800 http://ir-heat-extra.com/de/posts/semiconductor-wafer-probe-heater/ Fri, 03 Jul 2026 08:56:58 +0800 http://ir-heat-extra.com/de/posts/semiconductor-wafer-probe-heater/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Heizung für Halbleiterwafern"></p> <p>In der Fertigungshalle führt <a href="https://o-yate.net">bereits</a> eine Abweichung von einem halben Grad beim Prüfen der Halbleiterwafern dazu, dass viele Wafer als Schrott enden – ohne dass man es überhaupt mitbekommt. Wenn das thermische Budget begrenzt ist und der Zeitplan keine Fehler zulässt, bleibt keine Möglichkeit für Vermutungen übrig.</p> <p><strong>Was wirklich wichtig ist</strong><br> Wir haben den Heizer für die Halbleiterwafer um einen Kurzwellen-Infrarotstrahler herum konstruiert. Dieser Strahler wird zusammen mit Quarz- und Keramikkomponenten verwendet, die eine geringe Wärmeleitfähigkeit aufweisen. Dadurch wird eine Reaktionszeit von unter einer Sekunde erreicht, und die Temperaturgleichmäßigkeit auf der Waferoberfläche liegt bei ±0,1°C. Die Temperaturstabilitität zwischen den einzelnen Prozessschritten beträgt ±0,05°C. Dadurch bleiben die festgelegten Temperaturen konstant, auch wenn sich die Spannung im System ändert. Der Heizer kann 24/7 betrieben werden, ohne dass es zu unplanbaren Ausfällen kommt.</p>