```Python on Extra Performance IR Heating

Temperatursensor für Wafer Werkzeuge

Thu, 09 Jul 2026 03:56:48 +0800

Einführung
Beim Verarbeiten von Wafern ist die Temperatur nicht einfach nur eine Zahl auf dem Bildschirm. Sie ist vielmehr der entscheidende Faktor dafür, ob ein Prozess erfolgreich verläuft oder ob die gesamte Produktion verschwendet wird. Deshalb haben wir diesen Temperatursensor mit einem klaren Ziel entwickelt: Jeder Watt Energie soll genau da und zur richtigen Zeit auf die Waferfläche gerichtet werden.

Der Schlüssel dazu liegt in unserer hochwirksamen Goldbeschichtung sowie in der Art und Weise, wie wir die Wärme lenken. Zusammen sorgen sie dafür, dass Energie nicht verschwendet wird – und dass die Reaktionen des Sensors präzise, zuverlässig und vorhersehbar sind.

Infrarotheizung für die Reparatur von Fertigungswerkzeugen

Mon, 01 Jun 2026 02:33:14 +0800

Auf dem Fertigungsboden ist die Reparaturstation keine Option – sie ist das letzte Tor, bevor ein Werkzeug wieder in die Produktion geht. Eine einzelne Gradabweichung zeigt sich als Drift auf dem Wafer. Wenn der Heizer die Temperatur nicht halten kann, dauert die Reparatur länger, das Werkzeug steht still und der Zeitplan gerät ins Stocken. Ist der Heizer verschmutzt, gelangen Partikel in die Kammer, und das nächste Los kann Fotolackdefekte aufweisen. Bei der Werkzeugreparatur erwärmt der Heizer nicht nur Bauteile. Er definiert die Grenze zwischen einer sauberen Rückführung und einem kostenintensiven Nacharbeiten.