Spannungsregler für Fab IR

Thu, 18 Jun 2026 04:26:21 +0800

In der Fertigungshalle ist das Trocknen des Fotolacks keine einfache Temperatursteuerung – es hat direkten Einfluss auf die Qualität des Endprodukts. Wenn der IR-Heizer während des Trocknungsprozesses ungenau arbeitet, ändern sich die kritischen Abmessungen der Wafer, diese müssen anschließend entsorgt werden und die Produktion kommt zum Stillstand. Wir haben daher einen Spannungsregler entwickelt, um diese Unregelmäßigkeiten auszuschließen. Er hält den gewünschten Betriebspunkt konstant, selbst wenn die Netzspannung schwankt – dadurch bleibt die gewünschte Temperaturstabilität gewährleistet.

Was technisch wichtig ist: Der Regler wurde unter sauberen Bedingungen in einer Reinraumumgebung entwickelt. Er liefert eine stabile, rauschfreie Stromversorgung mit präziser Regelung. Dadurch wird eine Temperaturhomogenität von ±0,1°C auf der Oberfläche der Wafer erreicht – das wiederum sorgt für eine konstante Qualität des Fotolacks. Zudem werden keine zusätzlichen Partikel freigesetzt, und die verwendeten Materialien sowie Dichtungen sind für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet. Bei einem Dauerbetrieb von 7×24 Stunden soll es zu keinen unplanmäßigen Störungen kommen; die Lebensdauer liegt bei Zehntausenden von Stunden.

Regler on Extra Performance IR Heating

Spannungsregler für Fab IR