Sensor on Extra Performance IR Heating

Heizgerät zum Trocknen von MEMS Sensorwafern

Mon, 27 Jul 2026 06:35:43 +0800

Die richtige Trocknung von MEMS-Wafern – ohne Kontaminationsprobleme
Bei der Trocknung von MEMS-Sensoren ist Wärme nur die halbe Miete. Der eigentliche Kampf erfolgt gegen Partikel.
Wenn Sie in einem Reinraum der Klasse 100 arbeiten, kennen Sie die Situation: Schon eine winzige Menge an Abgasen oder ein Staubkorn vom Heizelement können dazu führen, dass ganze Chargen von Wafern unbrauchbar werden. Das ist eine stressige Arbeitsweise. Deshalb verwenden wir Hochreinheits-Synthetikquarzlampen.

Warum Quarz wichtig ist
Günstiges Glas oder minderwertiger Quarz kann dem Druck nicht standhalten. Nach einigen Wärmezyklen beginnen sie zu zerfallen und geben mikroskopisch kleine Partikel ab. Das ist natürlich nicht gut.
Wir verwenden hochreinen geschmolzenen Siliziumdioxid, denn dieser bleibt bei extremen Temperaturen fest und gibt keine Gase ab. Das Tolle daran: Die Infrarotstrahlung trifft direkt auf die Feuchtigkeit auf der Wafernoberfläche. Dadurch wird das Wasser sofort verdampft – ohne dass der gesamte Raum in einen Ofen verwandelt wird.

Präziser Infrarot Sensor für Wafern

Tue, 21 Jul 2026 04:13:18 +0800

Hören Sie auf, Energie an Ihren Wafer-Werkzeugen zu verschwenden!
Das Erhitzen einer Siliziumwafer erfordert Präzision. Doch wer bereits mit herkömmlichen IR-Systemen gearbeitet hat, kennt das Problem: die Verschwendung von Wärmeenergie. Es handelt sich dabei um diese lästige Infrarotenergie, die die Wafer überhaupt nicht erreicht, sondern stattdessen direkt gegen die Innenwände der Vakuumkammer prallt. Schon bald ist die Außenseite der Maschine so heiß, dass sie jemanden verbrennen könnte – und die eingesetzte Energie geht einfach verloren.

Wir lösen dieses Problem, indem wir genau kontrollieren, wohin die Wärme tatsächlich fließt.

Intelligente Sensorverpackung für Infrarot

Fri, 17 Jul 2026 07:35:55 +0800

Warum wir so besessen von der Prüfung der Isolierung unserer Infrarotsensoren sind
Wir führen hier keine zufällige Stichprobenprüfung durch. Jede einzelne Infrarotlampe sowie jedes Smart-Sensor-Set, das unser Werk verlässt, wird einer 100%-Prüfung auf Spannungsfestigkeit sowie Isolierwiderstand unterzogen.

Warum? Denn in Hochleistungssystemen für Infrarotstrahlung ist bereits ein winziger Leck im Isolationsmaterial ein Albtraum. Dadurch kann nicht nur die Lampe beschädigt werden, sondern auch das gesamte Steuergerät zerstört werden – oder es kommt zu einem Kurzschluss, der die ganze Produktionslinie lahmlegt. Niemand möchte am Freitagnachmittag mit solchen Problemen konfrontiert werden.

Temperatursensor für Wafer Werkzeuge

Thu, 09 Jul 2026 03:56:48 +0800

Einführung
Beim Verarbeiten von Wafern ist die Temperatur nicht einfach nur eine Zahl auf dem Bildschirm. Sie ist vielmehr der entscheidende Faktor dafür, ob ein Prozess erfolgreich verläuft oder ob die gesamte Produktion verschwendet wird. Deshalb haben wir diesen Temperatursensor mit einem klaren Ziel entwickelt: Jeder Watt Energie soll genau da und zur richtigen Zeit auf die Waferfläche gerichtet werden.

Der Schlüssel dazu liegt in unserer hochwirksamen Goldbeschichtung sowie in der Art und Weise, wie wir die Wärme lenken. Zusammen sorgen sie dafür, dass Energie nicht verschwendet wird – und dass die Reaktionen des Sensors präzise, zuverlässig und vorhersehbar sind.

Heizer zur Herstellung von Wasserstoffsensoren

Tue, 30 Jun 2026 05:14:24 +0800

Bei der Herstellung von Wasserstoffsensoren ist es entscheidend, dass keine Abweichungen auftreten. Schon eine geringe Abweichung von den Toleranzen führt dazu, dass das Profil des Fotolacks durcheinandergerät – dadurch sinkt die Ausbeute und die Wafer müssen vernichtet werden. Wir haben diesen Heizer entwickelt, um die Temperaturkonstanz über mehrere Prozessschritte hinweg zu gewährleisten.

Was wirklich wichtig ist Der Heizer nutzt kurzwelliges Infrarotlicht mit einem Quarzemitter – dadurch ist die Reaktion schnell und präzise. Die Temperaturgleichmäßigkeit auf der gesamten Fläche der Wafer liegt bei ±0,1°C. Das ermöglicht es, festgelegte Temperaturen genau einzuhalten. Der Heizer ist außerdem für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet – dank seines Designs mit geringer Gasemission sowie keinem Partikelentstehen während der thermischen Prozesse. Die Kontrollgenauigkeit liegt bei ±0,2°C über 10.000+ Prozessschritten. Zudem kann der Heizer rund um die Uhr ohne Unterbrechungen arbeiten. Die Spezifikationen sind einfach: Eingangsspannung 200–240 V, kompakte Bauweise für einfache Integration sowie Standardanschlüsse für eine schnelle Anbindung.