Die richtige Trocknung von MEMS-Wafern – ohne Kontaminationsprobleme Bei der Trocknung von MEMS-Sensoren ist Wärme nur die halbe Miete. Der...

Warum Halbleiterfabriken auf Konvektionsöfen verzichten und stattdessen Infrarot-Technologie nutzen Wenn Sie kürzlich einmal in einer...

In der Fertigungsstätte lässt ein 5-nm-Prozessschritt keinen Spielraum für Fehler. Schon eine Temperaturdifferenz von 0,3 °C auf der Wafer-Oberfläche...