Heizer zur Herstellung von Wasserstoffsensoren

Tue, 30 Jun 2026 05:14:24 +0800

Bei der Herstellung von Wasserstoffsensoren ist es entscheidend, dass keine Abweichungen auftreten. Schon eine geringe Abweichung von den Toleranzen führt dazu, dass das Profil des Fotolacks durcheinandergerät – dadurch sinkt die Ausbeute und die Wafer müssen vernichtet werden. Wir haben diesen Heizer entwickelt, um die Temperaturkonstanz über mehrere Prozessschritte hinweg zu gewährleisten.

Was wirklich wichtig ist Der Heizer nutzt kurzwelliges Infrarotlicht mit einem Quarzemitter – dadurch ist die Reaktion schnell und präzise. Die Temperaturgleichmäßigkeit auf der gesamten Fläche der Wafer liegt bei ±0,1°C. Das ermöglicht es, festgelegte Temperaturen genau einzuhalten. Der Heizer ist außerdem für Reinräume der Klassen 1–100 geeignet – dank seines Designs mit geringer Gasemission sowie keinem Partikelentstehen während der thermischen Prozesse. Die Kontrollgenauigkeit liegt bei ±0,2°C über 10.000+ Prozessschritten. Zudem kann der Heizer rund um die Uhr ohne Unterbrechungen arbeiten. Die Spezifikationen sind einfach: Eingangsspannung 200–240 V, kompakte Bauweise für einfache Integration sowie Standardanschlüsse für eine schnelle Anbindung.

Wasserstoff on Extra Performance IR Heating

Heizer zur Herstellung von Wasserstoffsensoren