Lámpara de precocido suave para fotorresistente

Mon, 08 Jun 2026 05:10:55 +0800

En la planta de fabricación, el soft bake no es una puesta en temperatura. Define el presupuesto de litografía, punto. La no uniformidad de temperatura se manifiesta como variación en el CD, y la retención de solventes se traduce en footing, residuos o rugosidad en el borde de la línea. Si el horneado se desvía, se está arriesgando todo el proceso.

Esto es lo que importa técnicamente. Nuestra lámpara de soft bake para fotoresistencias mantiene una uniformidad en estado estable de ±0,1°C a lo largo del wafer. Los materiales son compatibles con salas limpias de clase 1–100, y el equipo no genera partículas. Los elementos de infrarrojo de onda corta están sintonizados al perfil de absorción del fotoresist, de modo que la energía se dirige al film y no al sustrato. La repetibilidad es de ±0,5°C lote a lote, y el control de la rampa es lo suficientemente preciso para respetar el presupuesto térmico de nodos avanzados sin sobrepasarlo.

Suave on Extra Performance IR Heating

Lámpara de precocido suave para fotorresistente