متوقف کردن خطرات ناشی از شکستن لامپهای کوارتزی: حفظ سلامت لولههای کوارتزی
در سیستمهای نیمههادی با بار کاری بالا، شکستن لامپهای مادون قرمز میتواند فاجعهبار باشد. مسئله فقط توقف کار دستگاه نیست؛ بلکه به همین خاطر، وضعیت دستگاه کاملاً به هم میریزد.
تصور کنید تکههای شیشه و گاز هالوژن مستقیماً روی ویفرهای شما بریزند؛ در این صورت، تمام محصولات شما بیفایده میشوند. سپس باید ساعتها وقت صرف تمیز کردن دستگاه کنید. ما مدت زیادی را صرف یافتن راههایی کردهایم تا از وقوع چنین اتفاقی جلوگیری کنیم.
مقابله با شوک حرارتی
بیشتر لولههای کوارتزی به دلیل توزیع نامناسب حرارت یا نصب نادرست، از کار میافتند. این موضوع میتواند منجر به فاجعه شود.
ما از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ زیرا این ماده میتواند در برابر چرخههای سریع گرم شدن و سرد شدن مقاومت کند. اما راز واقعی در مرکزیت لولهها نهفته است؛ ما فیلامنتها را با دقت بسیار زیادی در جای خود نگه میداریم. چرا؟ چون اگر فیلامنتها از جای خود منحرف شوند، نقاط داغی روی دیواره لوله ایجاد میشود.
وقتی یک نقطه بسیار گرمتر از سایر نقاط شود، کوارتز شکسته میشود. ما سعی میکنیم حرارت را در سراسر لوله توزیع کنیم تا هیچ نقطه ضعیفی وجود نداشته باشد.
جلوگیری از ورود آشغالها
اگر لولهها از کار بیفتند، نمیخواهیم که آشغالها وارد دستگاه شوند. ما این مشکل را با دو روش حل میکنیم:
اول، ما دریچههای موجود در انتهای لامپها را تقویت میکنیم؛ این کار باعث میشود گاز از بین نرود، حتی اگر فیلامنتها شکسته شوند.
دوم، پیشنهاد میکنیم از پوششهای محافظ کوارتزی استفاده کنید؛ این پوششها مانند بیمه هستند. اگر لوله شکسته شود، این پوششها تکههای شیشه را در خود نگه میدارند. البته لامپ خراب خواهد شد، اما دستگاه آلوده نخواهد شد.
تعادل بین توان و عمر لامپها
مسئله این است که افزایش توان، باعث میشود قطعات سیستم سریعتر کار کنند؛ اما این کار فشار زیادی روی کوارتز وارد میکند.
وقتی حرارت زیادی وجود داشته باشد، لوله گرمتر میشود و الکترودها نیز سریعتر فرسوده میشوند. بنابراین باید تعادلی بین سرعت افزایش توان و عمر لامپها برقرار کرد.
اگر توان را بدون دادن فرصت کافی برای خنک شدن سیستم، افزایش دهید، در واقع لامپها را نابود میکنید. توصیه من این است که از کنترلکنندههای دقیق برای کنترل توان استفاده کنید؛ این کنترلکنندهها از شوکهای ناگهانی ولتاژ جلوگیری میکنند.