متوقف کنید این فاجعهها را: نحوه مقابله با خرابی لامپها در فرآیند تولید ویفرها
باید صادقانه بگوییم: خرابی لامپهای مادون قرمز، یک فاجعه واقعی است. مشکل فقط توقف فرآیند تولید نیست؛ بلکه آشفتگی ناشی از آن نیز وجود دارد. با یک انفجار، تکههای کوارتز و ذرات فلزی روی ویفرها میافتند. این امر باعث کاهش بازدهی تولید و دردسر برای تیم کاری میشود.
به همین دلیل، ما جعبههای حرارتی خود را از جنس فولاد ضدزنگ ساختهایم. ما به دنبال چیزی بودیم که بتواند این آشفتگیها را کنترل کرده و جلوی گسترش آلودگیها را بگیرد.
رویکرد «سپر حفاظتی»
وقتی لامپ تحت فشار حرارتی زیادی قرار میگیرد، پوسته کوارتزی آن نه تنها ترک میخورد، بلکه میتواند شکسته شود. ما عناصر لامپ را در جعبههای فولاد ضدزنگ قرار میدهیم تا از این اتفاق جلوگیری شود.
میتوانید آن را مانند یک سپر حفاظتی فیزیکی در نظر بگیرید. ما مشخصات این جعبهها را به گونهای تنظیم کردهایم که بتواند تغییرات حرارتی لامپ را تحمل کند؛ اما اگر لامپ واقعاً منفجر شود، ذرات موجود درون جعبه باقی خواهند ماند.
جزئیات مربوط به مواد
ما از فولاد ضدزنگ با کیفیت بالا استفاده میکنیم. چرا؟ چون نمیخواهیم گازهای ناشی از فرآیند تولید یا خوردگی، فرآیند تولید را مختل کنند.
فضای بین قطعات جعبه بسیار کم است، اما ما فضای کافی برای جریان هوا را در نظر گرفتهایم تا جعبه در اثر گرما تغییر شکل ندهد. البته، اگر لامپها را با توان کامل و ۲۴ ساعته در حال کار نگه دارید، دمای جعبه بالا خواهد رفت. بنابراین باید مطمئن شوید که سیستم تهویه، گرمای اضافی را دفع کند. در غیر این صورت، لامپها خیلی زود خراب خواهند شد.
حفظ تمیزی اتاق تولید
هدف ما این است که هیچ فضایی برای نفوذ ذرات وجود نداشته باشد. با بستن انتهای لامپها، مسیر ورود ذرات به سطح ویفرها را محدود میکنیم.
این کار، حالت فاجعهبار خرابی لامپها را تغییر میدهد؛ به جای یک حادثه وحشتناک که نیاز به تمیز کردن کل اتاق تولید داشته باشد، این موضوع به یک کار روتین تبدیل میشود. کافی است لامپ خراب را تعویض کنید و دوباره به کار خود ادامه دهید. این روش، بازدهی تولید را در سطح مطلوبی نگه میدارد.