در خط تولید، فرآیند حرارت دادن فوتورزیست نه تنها یک مرحلهی دمایی ساده است، بلکه تأثیر مستقیمی بر بازدهی تولید دارد. اگر دمای هیتر مادون قرمز در طول فرآیند حرارت دادن تغییر کند، ابعاد مهم ویفرها تغییر کرده، ویفرها از کار میافتند و خط تولید متوقف میشود. ما یک تنظیمکنندهی ولتاژ برای هیترهای مادون قرمز طراحی کردیم تا این نوسانات را از بین ببرد. این تنظیمکننده، حتی در شرایطی که ولتاژ خط تغییر میکند، میزان ولتاژ را در حد مشخصی نگه میدارد؛ بنابراین میزان انرژی مصرفی نیز در حد مشخصات مورد نظر باقی میماند.
نکات فنی مهم:
این تنظیمکننده در شرایط اتاقهای پاک ساخته شده است؛ بنابراین منبع انرژی پایدار و بدون نویزی ارائه میدهد. این تنظیمکننده، یکنواختی دمایی در سطح ویفرها را در محدودهی ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میکند؛ این امر به کنترل بهتر ابعاد ویفرها کمک میکند. همچنین، این تنظیمکننده هیچ ذرهی اضافیای تولید نمیکند؛ مواد و قطعات مورد استفاده نیز در اتاقهای پاک کلاس ۱ تا ۱۰۰ قابل استفاده هستند. این تنظیمکننده میتواند ۲۴ ساعته و هفت روز در هفته کار کند؛ بنابراین انتظار میرود عمر آن دهها هزار ساعت باشد.
دلیل موفقیت این تنظیمکننده در فرآیند لیتوگرافی:
وقتی که فرآیند تولید نیاز به گرما دارد، باید این گرما به طور یکنواخت و در هر چرخهی تولید ارائه شود. این تنظیمکننده، خروجی گرمایی مادون قرمز را از اولین ویفر تا آخرین ویفر، یکنواخت نگه میدارد؛ این امر باعث کاهش میزان ویفرهای از کار افتاده و نیاز به بازسازی میشود. با بهبود یکنواختی دما، پنجرههای زمانی فرآیند تولید نیز بهتر میشود. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا سیستم از افزایش بیش از حد دما و چرخههای جبرانی که باعث هدررفت انرژی میشوند، جلوگیری میکند. فاصلههای نگهداری نیز طولانیتر میشود و میزان قطعات یدکی نیز کاهش مییابد؛ زیرا این تنظیمکننده از قطعاتی با عمر طولانی و فرسودگی قابل پیشبینی استفاده میکند.
نکات عملی:
تطابق اجزا مهم است؛ برای دستیابی به یکنواختی و پایداری مطلوب، باید این تنظیمکننده را با نوع مناسب از فرستندههای مادون قرمز و منحنی بار مربوطه ترکیب کرد. نصب این تنظیمکننده نیازمند مدیریت دقیق دما و استفاده از سیمهای مناسب برای جلوگیری از ایجاد نقاط گرم و آلودگی است. همچنین، باید زمان کوتاهی را برای تنظیم پارامترهای PID در ایستگاههای تولید در نظر گرفت.