خلأ on Extra Performance IR Heating

گرمکن مادون قرمز سازگار با خلأ

Fri, 17 Jul 2026 07:28:02 +0800

دست از هدر دادن زمان برای گرم کردن هوا بردارید؛ چرا که استفاده از روش گرمایش با اشعه مادون قرمز، بهترین راه است.
اگر در زمینه فرآوری نیمه‌هادی‌ها کار می‌کنید، می‌دانید که باید از هر ثانیه‌ای به خوبی استفاده کرد. برای مدت طولانی، از روش گرمایش با هوای داغ استفاده می‌کردیم؛ اما در شرایط خلأ، این روش بسیار کند عمل می‌کند.
در اینجاست که روش گرمایش با اشعه مادون قرمز وارد صحنه می‌شود. به جای تلاش برای انتقال حرارت از طریق یک محیط غیرمناسب، اشعه مادون قرمز مستقیماً به سطح ویفر برخورد می‌کند؛ بدون نیاز به واسطه‌ها و بدون نیاز به انتظار.
هزینه واقعی انتظار
فکر کنید به آن سیستم‌های قدیمی گرمایش با هوای داغ؛ برای رسیدن ویفر به دمای مورد نظر، باید کل محفظه را گرم کرد. این کار، زمان فرآیند را به شدت افزایش می‌دهد.
اما با استفاده از روش گرمایش با اشعه مادون قرمز، این تأخیرات از بین می‌روند. می‌توانیم زمان لازم برای گرم شدن ویفر را از ده دقیقه به حدود سی ثانیه کاهش دهیم. در کارخانه‌هایی که حجم تولید بالاست، این موضوع فقط یک مزیت نیست؛ بلکه یک پیروزی بزرگ برای تعداد ویفرهای تولید شده در هر ساعت است.
نحوه عملکرد
ما فقط یک لامپ را در آنجا قرار نمی‌دهیم؛ این گرمکن‌ها طوری طراحی شده‌اند که بتوانند در محیط‌های خلأ عمل کنند، بدون اینکه گازهای زائدی وارد سیستم شوند. ما از کوارتز با خلوص بالا و فیلامنت‌های ویژه برای حفظ تمیزی محفظه استفاده می‌کنیم.
علاوه بر این، کنترل بیشتری نیز وجود دارد؛ می‌توانید حرارت را به نواحی خاصی از ویفر ارسال کنید.
البته یک مشکل وجود دارد: این روش بسیار سریع عمل می‌کند. اگر تنظیمات PID صحیح نباشد، ممکن است دمای ویفر از حد مورد نظر بالاتر رود. بنابراین، به دستگاه‌های ترموکوپل با پاسخ سریع نیاز دارید تا اوضاع را تحت کنترل نگه دارند.
تمیز کردن محیط
یکی از بهترین مزایای این روش این است که دیگر نیازی به استفاده از بلوئرهای بزرگ، لوله‌های طولانی یا سیستم‌های فیلتراسیون سنگین نیست. فقط کافی است لامپ‌ها را به سیستم برقی متصل کرده و آن‌ها را در محفظه‌های منعکس‌کننده قرار دهید تا انرژی اضافی دوباره به ویفر منتقل شود.
فضای مورد نیاز برای نصب دستگاه کمتر می‌شود، سرعت فرآیند افزایش می‌یابد، و دیگر نیازی نیست برای گرم کردن هوا پول خرج کنید. حالا فقط برای زمانی که برای فرآوری سیلیکون لازم است، پول پرداخت می‌کنید.

گرمکن مادون قرمز محفظه خلأ

Wed, 15 Jul 2026 10:04:55 +0800

جلوگیری از انفجار محفظه خلأ
باید صادق باشیم: استفاده از گرمکن‌های مادون قرمز در داخل محفظه خلأ در حین تمیزکاری شیمیایی، کاری بسیار پرخطر است. از یک سو، بخارات قابل اشتعال وجود دارد و از سوی دیگر، گرمای بسیار زیاد. یک جرقه کوچک یا نشتی در اتصالات، می‌تواند منجر به فاجعه شود.
لامپ‌های کوارتز استاندارد برای این کار مناسب نیستند؛ زیرا بیش از حد در معرض خطر هستند. به همین دلیل، ما روی بسته‌بندی و محافظت از لوازم الکترونیکی تمرکز می‌کنیم.
راز، در بسته‌بندی لامپ نهفته است.
ما فقط لامپ را در پلاستیک نمی‌پیچیم؛ بلکه از پوسته‌های محکم و ضدانفجار استفاده می‌کنیم تا اتصالات الکتریکی کاملاً از هوای داخل محفظه جدا شوند.
نقاط اتصال معمولاً محل ایجاد مشکلات هستند؛ برای جلوگیری از این مشکلات، ما سیم‌های اتصال را با اپوکسی‌های با دمای بالا یا مواد مخصوصی محکم می‌کنیم. این کار مانع از ورود گازهای شیمیایی به داخل لامپ می‌شود.
مقابله با گرما و مواد شیمیایی
وقتی از محفظه خلأ استفاده می‌کنید، نمی‌توانید اجازه دهید منبع گرما گاز تولید کند یا ذراتی از آن خارج شود. ما از کوارتز با خلوص بالا و روکش‌های ویژه استفاده می‌کنیم تا گرما به سمت جلو هدایت شود، نه اینکه باعث آسیب به لوازم الکترونیکی شود.
این لامپ‌ها برای مقاومت در برابر مواد شیمیایی خورنده طراحی شده‌اند؛ اگر بسته‌بندی لامپ از بین برود، لامپ فوراً از کار می‌افتد. این یک واقعیت تلخ است. به همین دلیل، ما مواد مناسب برای بسته‌بندی لامپ را بر اساس مواد شیمیایی مورد استفاده انتخاب می‌کنیم.
معایب
باید بدانید که چنین محافظتی رایگان نیست. به دلیل وجود پوسته فیزیکی دور لامپ، تشعشعات مادون قرمز کمی تغییر می‌کند؛ همچنین، رسیدن به دمای مورد نظر کمی طولانی‌تر خواهد بود، زیرا پوسته باعث افزایش جرم حرارتی می‌شود.
یک نکته مهم: باید کنترل‌کننده‌های PID خود را تنظیم کنید؛ اگر این تأخیر را در نظر نگیرید، ممکن است دمای لامپ بیش از حد بالا برود.
خبر خوب این است که این لامپ‌ها می‌توانند جایگزین لامپ‌های مادون قرمز استاندارد شوند؛ فقط کافی است اطمینان حاصل کنید که منبع تغذیه شما قادر به تأمین ولتاژ لامپ باشد.

قطعه گرمایشی فر خلأ

Sat, 04 Jul 2026 11:13:37 +0800

عناصر گرمایشی فرهای خلأ: طراحی شده برای خطوط تولید ویفرهای با کیفیت بالا
ما در رقابت با بهترین تولیدکنندگان عناصر گرمایشی فرهای خلأ هستیم. زیرا می‌دانیم که تولید ویفرهای با کیفیت بالا چه الزاماتی دارد. این موضوع مربوط به تبلیغات نیست؛ بلکه مربوط به انجام کار در شرایط دشوار است.

چه چیزهایی اهمیت دارند؟
عنصر گرمایشی فر خلأ تنها یک وظیفه دارد: ایجاد گرمای یکنواخت در محیطی با فشار پایین. جزئیات، کلید موفقیت این عناصر هستند.
ما توان و ولتاژ عناصر گرمایشی را با ویژگی‌های الکتریکی تجهیزات شما سازگار می‌کنیم؛ تا بتوانید به دمای مورد نظر برسید، بدون اینکه منبع تغذیه تحت فشار قرار بگیرد.
حدود تحمل این عناصر بسیار دقیق است؛ اگر از عنصری با ابعاد ۳۰۰ میلی‌متر استفاده کنید، باید کاملاً در محفظه فر جای بگیرد. حتی کوچکترین شکاف نیز می‌تواند باعث ایجاد نقاط گرم و گرمایش ناهموار شود. هیچ فضای اشتباهی وجود ندارد.