Séchage on Extra Performance IR Heating

Chauffage de séchage des plaques de capteurs MEMS

Mon, 27 Jul 2026 06:35:22 +0800

Comment sécher correctement les wafer MEMS (sans risque de contamination)
Lorsque l’on sèche des capteurs MEMS, la chaleur n’est que moitié du problème. La véritable lutte concerne les particules présentes dans l’air.
Si vous travaillez dans une salle propre de classe 100, vous connaissez bien le problème : un petit écoulement de gaz ou un fragment de matériau provenant d’un élément chauffant suffit pour rendre toute une série de wafer inutilisables. C’est une situation très stressante. C’est pourquoi nous utilisons des lampes à infrarouges en quartz synthétique de haute pureté.

Audit énergétique pour le séchage en usine

Thu, 23 Jul 2026 11:52:57 +0800

Pourquoi les usines de fabrication de semi-conducteurs abandonnent-elles les fours traditionnels au profit du séchage par rayonnement infrarouge ?
Si vous avez passé du temps dans une telle usine récemment, vous avez probablement remarqué quelque chose : ces grands fours à convection encombrants commencent à disparaître. Les gens privilégient désormais le séchage par rayonnement infrarouge. Pourquoi ? Parce que chauffer toute une pièce juste pour sécher un petit morceau de silicium est plutôt gaspilleur d’énergie. Le rayonnement infrarouge agit directement sur le matériau à traiter. C’est pourquoi les critères de “respect de l’environnement” ou “absence de plomb” indiquent presque toujours l’utilisation du rayonnement infrarouge aujourd’hui.

Panneau infrarouge de séchage de wafer en zones

Thu, 02 Jul 2026 08:57:34 +0800

Sur le site de fabrication, un nœud de 5 nm ne laisse aucune marge d’erreur. Une différence de température de 0,3 °C sur la wafer peut entraîner des déviations dans les paramètres de gravure, ainsi que des résidus de photo-résist après traitement. Quant au séchage conventionnel… vous savez bien comment ça se passe : les bords de la wafer restent humides. Les méthodes de séchage par rotation gaspillent du solvant et causent des problèmes liés aux particules présentes dans l’air.