במחלקת הייצור, שימוש בטכנולוגיה של 5 ננומטר אינו מאפשר שום חופש פעולה. עלייה של 0.3°C בטמפרטורה באזור מסוים של הוופר יכולה לגרום לשינוי ברמת הדיוק של הייצור, וכן להשאיר שאריות של חומרי ציפוי לאחר תהליך החיתוך. ומה לגבי תהליך הייבוש הרגיל? כמו שאתם יודעים – הקצוות של הוופר עדיין נשארים לחים. שיטות ייבוש באמצעות סיבוב גורמות לבזבוז של חומרים וגם יוצרות בעיות בנוגע לחלקיקים.
יצרנו פאנל אינפרא-אדום מחולק לאזורים, כדי להסיר את חוסר הוודאות הזה בדיוק בנקודה שבה הוופר יוצא מחדר הניקיון. הלב של הפאנל הוא קרינת אינפרא-אדום בגלים קצרים, עם שליטה מדויקת בכל אזור. כל אזור שומר על רמת טמפרטורה קבועה של ±0.1°C, כך שכל הוופר מקבל אותו תנאי תרמי. הפאנל דק, מתאים לחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, והחלק החיצוני שלו נשאר קר מספיק כדי למנוע יצירת חלקיקים.
התוצאה היא ייבוש אחיד, ללא צורך להפעיל את חומרי הציפוי. תהליכי החימום נשארים ללא שינוי, וניתן להסיר את שאריות החומרים מהוופר מבלי לחשוף אותו שוב לקרינה.
בפועל, ניתן להפחית את זמן הייבוש ולשפר את שיעור ההצלחה של הייצור. צריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שהאנרגיה פוגעת רק בחומרים הרלוונטיים, ולא בחלקים האחרים של הוופר. זמני העצירה הבלתי צפויים פוחתים, בזכות העובדה שהפאנל יכול לעבוד 24/7, והמודולים שלו ניתנים להחלפה בשטח.
התוצאה היא שבירה אחידה של הגלים, צריכת חומרים נמוכה יותר, ושליטה טובה יותר ברמת הדיוק של הייצור.
ההתקנה פשוטה, אך חשוב שהגאומטריה של החדר תהיה מתאימה. יש להתאים את גודל הפאנל למקום שבו הוופר נמצא, ולוודא שיש מספיק מרווח לרובוטים. הפאנל יכול להתחבר למערכות הבקרה הקיימות דרך אינטרפייסים סטנדרטיים. כל מה שצריך לעשות זה לקבוע את המתח וסוג החיבור מראש, כדי לחסוך בזמן ובמאמץ.
ייבוש באמצעות אינפרא-אדום מחולק לאזורים אינו פתרון מתאים לכל ליניה. הוא מתאים בעיקר למקומות שבהם חוסר האחידות התרמית הוא המגבלה העיקרית. אם הליניה שלכם מנסה להגדיל את שיעור ההצלחה בטכנולוגיות מתקדמות, הפאנל הזה יאפשר לכם שליטה טובה יותר בתהליך הייצור.