מנורה לייצור שבבי סופרמוליקודטורים

בחדר הייצור, טמפרטורת החימום של הפוטורזיסט יכולה להשתנות ב-1.5°C בלבד, דבר שעלול לגרום לבעיות בשלב הליתוגרפיה הבא. בייצור שבבי סופרמגנטים, שינוי כזה...