http://ir-heat-extra.com/he/tags/%D7%A6%D7%99%D7%9C%D7%95%D7%9D-%D7%A8%D7%92%D7%99%D7%A9/ Recent content in צילום רגיש on Extra Performance IR Heating Hugo he Mon, 08 Jun 2026 05:10:57 +0800 http://ir-heat-extra.com/he/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Mon, 08 Jun 2026 05:10:57 +0800 http://ir-heat-extra.com/he/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="מנורת ריכוך רגיש לאור"></p> <h1 id="role">Role</h1> <p>אתר הייצור, אפיית soft bake אינה חימום ראשוני. היא מגדירה את תקציב הליתוגרפיה, תקופה. אי-אחידות בטמפרטורה מתבטאת בשונות ב-CD (Critical Dimension), ותחזוקת ממס באה לידי ביטוי כ-footing, scum או חוסר סדירות בקצה הקו. אם תאפשר ל-bake לסטות, אתה מסתכן בכל המערכת.</p> <p>הנה מה שחשוב מבחינה טכנית. מנורת ה-soft bake שלנו לשכבת הפוטורזיסט שומרת על אחידות במצב יציב ±0.1°C על פני כל הפלטה. החומרים תואמים לסיווג 1–100 של חדר נקי, והמכשיר מפיק אפס חלקיקים. אלמנטים באורך גל קצר בתחום התת-אדום מותאמים לפרופיל הספיגה של הפוטורזיסט, כך שהאנרגיה נכנסת לסרט, לא למצע. החזרות ±0.5°C בין אצוות, ושליטת העלייה בטמפרטורה מדויקת מספיק כדי לכבד את תקציב החום של צמתים מתקדמים ללא חריגה.</p>