Role אתר הייצור, אפיית soft bake אינה חימום ראשוני. היא מגדירה את תקציב הליתוגרפיה, תקופה. אי-אחידות בטמפרטורה מתבטאת בשונות ב-CD (Critical...

רצפת הוויפר, האפייה אינה הפסקה – זו נעילת תהליך. אם אחידות הטמפרטורה משתנה על גבי הפוטורסיסט, זה מתבטא בשונות ב-CD ובעיות בתפוקה. וכשהמחמם של האפייה...