Bake on Extra Performance IR Heating

מנורת ריכוך רגיש לאור

Mon, 08 Jun 2026 05:10:57 +0800

Role

אתר הייצור, אפיית soft bake אינה חימום ראשוני. היא מגדירה את תקציב הליתוגרפיה, תקופה. אי-אחידות בטמפרטורה מתבטאת בשונות ב-CD (Critical Dimension), ותחזוקת ממס באה לידי ביטוי כ-footing, scum או חוסר סדירות בקצה הקו. אם תאפשר ל-bake לסטות, אתה מסתכן בכל המערכת.

הנה מה שחשוב מבחינה טכנית. מנורת ה-soft bake שלנו לשכבת הפוטורזיסט שומרת על אחידות במצב יציב ±0.1°C על פני כל הפלטה. החומרים תואמים לסיווג 1–100 של חדר נקי, והמכשיר מפיק אפס חלקיקים. אלמנטים באורך גל קצר בתחום התת-אדום מותאמים לפרופיל הספיגה של הפוטורזיסט, כך שהאנרגיה נכנסת לסרט, לא למצע. החזרות ±0.5°C בין אצוות, ושליטת העלייה בטמפרטורה מדויקת מספיק כדי לכבד את תקציב החום של צמתים מתקדמים ללא חריגה.

מחמם אפיית פוטורסיסט עמיד

Sun, 07 Jun 2026 03:54:28 +0800

רצפת הוויפר, האפייה אינה הפסקה – זו נעילת תהליך. אם אחידות הטמפרטורה משתנה על גבי הפוטורסיסט, זה מתבטא בשונות ב-CD ובעיות בתפוקה. וכשהמחמם של האפייה מתחיל להפעיל ביצועים נמוכים, הנתונים מצביעים על כך הרבה לפני שהוויפר עצמו מראה סימנים.

מה חשוב מתחת למכסה המנוע
מחמם אפיית הפוטורסיסט הזה תוכנן לשימור חזרתיות באפיית ליתוגרפיה. הוא מקיים אחידות תרמית ברמת הוויפר עד ±0.1°C, כך שהתקציב התרמי נשמר תחת שליטה והפרופיל של הפוטורסיסט נשאר בתוך המפרט. הוא תואם לסביבות Class 1–100 בחדר נקי ופועל ללא עלייה בכמות חלקיקים במהלך מחזורי האפייה. במפעלי ייצור בקצב גבוהה, הוא מתוכנן לאמינות 24/7 – יום אחר יום – בתפעול מתמשך שאינו משפיע לרעה על הזרימה בתהליך.