http://ir-heat-extra.com/he/tags/mems/ Recent content in MEMS on Extra Performance IR Heating Hugo he Mon, 27 Jul 2026 06:37:49 +0800 http://ir-heat-extra.com/he/posts/achieving-zero-contamination-heating-for-mems-wafer-drying-via-high-purity-quartz-ir-lamps/ Mon, 27 Jul 2026 06:37:49 +0800 http://ir-heat-extra.com/he/posts/achieving-zero-contamination-heating-for-mems-wafer-drying-via-high-purity-quartz-ir-lamps/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="מחמם לייבוש של שבבי חיישני MEMS"></p> <h1 id="ייבוש-וופרי-mems-בצורה-נכונה-בלי-בעיות-של-זיהום">ייבוש וופרי MEMS בצורה נכונה (בלי בעיות של זיהום)</h1> <p>כשמייבשים חיישני MEMS, החום הוא רק חצי מהבעיה. האתגר האמיתי הוא המאבק נגד חלקיקים שונים.<br> אם אתם עובדים בחדר נקי מסוג Class 100, אתם כבר יודעים את הבעיה: כל חלקיק זעיר שנפלט מהחומר, או חתיכה קטנה של חומר מהרכיבים החמים, יכולים להרוס את כל הוופרים שלכם. זו דרך מתוחה לעבוד. לכן אנו משתמשים בנורות IR מקוורץ ברמת טוהר גבוהה.</p> <p><strong>למה הקוורץ כל כך חשוב?</strong><br> זכוכית זולה או קוורץ באיכות נמוכה אינם יכולים לעמוד בעומסים האלו. לאחר מספר מחזורי חימום, הם מתחילים להתפרק ולפלוט חלקיקים זעירים. זה לא טוב.<br> אנו משתמשים בסיליקה מפושרת ברמת טוהר גבוהה – היא נשארת קשיחה בטמפרטורות גבוהות מאוד ואינה פולטת גזים. הדבר הטוב הוא שקרינת ה-IR פוגעת ישירות בלחות שעל פני הוופר, וכך המים נעלמים מיד, בלי שכל החדר הופך לתנור.</p>