http://ir-heat-extra.com/id/tags/lembut/ Recent content in Lembut on Extra Performance IR Heating Hugo id Mon, 08 Jun 2026 05:10:56 +0800 http://ir-heat-extra.com/id/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Mon, 08 Jun 2026 05:10:56 +0800 http://ir-heat-extra.com/id/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Lampu pemanggangan lunak photoresist"></p> <p>Di lantai produksi, soft bake bukanlah <a href="https://goldisgood.com">proses</a> pemanasan awal. Itu menetapkan anggaran litografi, titik. Ketidakseragaman suhu terlihat sebagai variasi CD, dan retensi <a href="https://henruite.com">pelarut</a> muncul sebagai footing, scum, atau kekasaran tepi garis. Jika proses baking melenceng, Anda mempertaruhkan seluruh proses.</p> <p>Berikut hal teknis yang penting. Lampu soft bake photoresist kami mempertahankan uniformitas kondisi tetap ±0,1°C di seluruh wafer. Materialnya kompatibel dengan cleanroom kelas 1–100, dan alat ini tidak menghasilkan partikel sama sekali. Elemen inframerah gelombang pendek disetel sesuai profil absorpsi photoresist, sehingga energi terserap di film, bukan substrat. Reproduksinya ±0,5°C antar batch, dan kontrol kenaikan suhunya cukup ketat untuk menghormati anggaran termal node lanjut tanpa overshoot.</p>