Di lantai produksi, soft bake bukanlah proses pemanasan awal. Itu menetapkan anggaran litografi, titik. Ketidakseragaman suhu terlihat sebagai...

Pada lantai wafer, proses bake bukanlah jeda—melainkan penguncian proses. Jika uniformitas suhu bergeser pada photoresist, Anda akan menghadapi...