Come asciugare correttamente i wafer MEMS (senza il rischio di contaminazione)
Quando si asciugano i sensori MEMS, il calore rappresenta soltanto metà della soluzione. La vera sfida è combattere le particelle presenti nell’ambiente di lavoro.
Se si lavora in una sala pulita di classe 100, si conosce bene la situazione: anche solo una piccola quantità di gas prodotti durante il riscaldamento o un frammento di materiale proveniente dall’elettrodo di riscaldamento possono rovinare l’intero lotto di wafer. È un modo estremamente stressante per lavorare. Ecco perché preferiamo utilizzare lampade a infrarossi realizzate in quarzo sintetico ad alta purezza.
Perché il quarzo è così importante
Il vetro economico o il quarzo di bassa qualità non riescono a resistere a tali condizioni. Dopo pochi cicli termici, iniziano a deteriorarsi e a rilasciare particelle microscopiche. Non è affatto vantaggioso.
Noi utilizziamo silice fusa ad alta purezza: essa rimane solida anche a temperature estreme e non rilascia alcun gas. Il bello è che i raggi infrarossi colpiscono direttamente l’umidità presente sulla superficie del wafer, eliminandola immediatamente, senza che tutta la camera diventi un forno.
I dettagli tecnici del design
Rendiamo queste lampade compatte, in modo che possano essere facilmente integrate nel sistema di asciugatura. La struttura in quarzo è sigillata ermeticamente, per evitare che il filamento si ossidi… Il che, di solito, è proprio la causa delle contaminazioni. Gestendo correttamente il ciclo di funzionamento del filamento, possiamo evitare che si formino delle macchie sulla sua superficie.
Alcuni consigli per l’installazione
Queste lampade sono sostituti ideali per la maggior parte delle stazioni di asciugatura MEMS. Utilizziamo connettori standard, quindi non ci saranno problemi con i cavi.
Attenzione però: il quarzo ad alta purezza è fragile. Aggiunge calore, ma odia essere urtato. Uno shock meccanico durante l’installazione può causare microfratture che potrebbero non essere visibili.
Inoltre, utilizzate sempre guanti senza pelucchi: gli oli presenti sulla pelle possono creare punti caldi sul vetro, il che accelera il deterioramento della lampada.