Fermare l’incubo delle rotture dei tubi a infrarossi nella lavorazione dei wafer
Siamo onesti: una lampada a infrarossi che si rompe in un ambiente ad alta intensità di lavoro rappresenta davvero un disastro. Non si tratta soltanto del fatto che la macchina rimanga fuori servizio per alcune ore… Si tratta anche della necessità di pulire tutto ciò che è stato rovinato.
Quando un tubo di quarzo si rompe sopra un wafer di silicio, i frammenti di vetro e il gas alcalino finiscono direttamente sul substrato. Il prodotto è rovinato, e il personale deve dedicarsi alla pulizia dell’intera sala pulita. È un problema che nessuno vuole affrontare.
Ecco proprio per questo che abbiamo progettato le nostre lampade a infrarossi in modo tale da evitare tali problemi.
Perché i tubi si rompono
Di solito, il problema deriva da shock termici o da zone di calore localizzate. Noi utilizziamo quarzo fuso ad altissima purezza, che non si danneggia quando la temperatura varia. Questo materiale permette di gestire cicli di accensione/ospensione rapidi senza che il tubo si rompa.
Inoltre, esiste il problema legato all’usura del filamento: questo può piegarsi o toccare le pareti interne del tubo. Per evitare questo problema, centriamo il filamento con precisione millimetrica. È una tolleranza molto stretta, ma permette al calore di rimanere esattamente dove deve essere.
Evitare il disordine
Per aggiungere un ulteriore livello di sicurezza, avvolgiamo le lampade in un rivestimento di quarzo ad alta resistenza, oppure utilizziamo uno strato speciale resistente alle rotture. Pensateci come a una rete di sicurezza: se la lampada interna si rompe, lo strato esterno assorbe tutti i frammenti di vetro. In questo modo, i wafer non verranno danneggiati.
I vantaggi e gli svantaggi
L’unico svantaggio è che l’aggiunta di questi strati di protezione impedisce una piccola parte della trasmissione dei raggi infrarossi. Si noterà quindi una leggera diminuzione della potenza emessa rispetto a una lampada senza questi strati protettivi.
Non è un grosso problema, ma potrebbe essere necessario aumentare la potenza della lampada o far sì che i wafer rimangano nell’ambiente per un tempo più lungo, per raggiungere la temperatura desiderata. Assicuratevi comunque che la fonte di alimentazione possa gestire il carico aggiuntivo, per evitare interruzioni durante la produzione.