Mantenere una sala pulita di classe 100 effettivamente pulita
Se gestite una sala pulita di classe 100, conoscete bene i problemi legati a questa situazione. Un singolo granello di polvere nel posto sbagliato può rendere completamente inutilizzabili tutti i wafer prodotti. È davvero stressante.
Il problema è che la maggior parte degli elementi riscaldanti è in realtà sporca. Essi emettono gas o particelle proprio nel momento in cui sarebbero necessari per mantenere stabile la temperatura desiderata. Ecco perché utilizziamo lampade a raggi infrarossi in quarzo ad alta purezza, insieme a cavi isolati con Teflon. È semplicemente la soluzione migliore.
Il vantaggio del quarzo ad alta purezza
Utilizziamo quarzo sintetico ad alta purezza per costruire le lampade. Perché? Perché non rilascia ioni metallici e non cristallizza quando la temperatura aumenta.
Queste lampade emanano radiazioni infrarosse a breve lunghezza d’onda. Questo è il segreto del loro funzionamento: è possibile raggiungere facilmente le temperature desiderate, senza riscaldare l’aria circostante. Poiché l’aria rimane ferma, non si creano quelle correnti convettive che sollevano la polvere e la fanno cadere sui substrati.
Perché insistiamo sull’uso del Teflon
La maggior parte dei cavi utilizza PVC o silicio. In ambienti ad alta temperatura, questi materiali iniziano a fondersi o a rilasciare sostanze nocive. Non è affatto positivo.
Noi invece utilizziamo Teflon (PTFE). Questo materiale riesce a resistere al calore senza problemi, e non rilascia microplastiche. È anche chimicamente inerte, il che significa che può essere utilizzato sia nel vuoto che in ambienti puliti, senza doversi preoccupare di possibili contaminazioni.
Cose da tenere presente
Il punto debole di questo sistema è che il riscaldamento a radiazioni infrarosse ad alta intensità è molto rapido… ma genera calore intenso in piccole zone. Bisogna quindi fare attenzione ai supporti su cui vengono montate le lampade: devono essere fatti di materiali che non rilasciano sostanze nocive. Inoltre, bisogna controllare attentamente il sistema di raffreddamento. Se l’area intorno alle lampade diventa troppo calda, i connettori elettrici potrebbero danneggiarsi prima del previsto.
Integrando queste lampade nei propri strumenti
Queste lampade possono essere integrate facilmente nelle attrezzature per la cottura o essiccazione dei semiconduttori. Utilizzando il quarzo ad alta purezza insieme a cavi in Teflon, si riesce a mantenere l’ambiente estremamente pulito. Si ottiene così tutta l’energia necessaria, senza doversi più preoccupare delle particelle che potrebbero rovinare i risultati di produzione.