Riflettore in alluminio per lampada IR

Sat, 06 Jun 2026 04:06:52 +0800

On the fab floor, la cottura del fotoresist non è una fase termica opzionale, ma la linea sottile tra il raggiungimento della specifica di linewidth e lo scarto del lotto. Se la lampada IR inizia a deviare, anche il soft bake e l’hard bake ne risentono. I solventi non evaporano correttamente e la latitudine di esposizione crolla. È qui che il riflettore in alluminio dimostra il suo valore: trasforma l’energia radiante grezza in un campo termico stabile e ripetibile su tutto il wafer.

Alluminio on Extra Performance IR Heating

Riflettore in alluminio per lampada IR