Elemento riscaldante del forno LPCVD

Sun, 31 May 2026 04:52:44 +0800

Out on the line, il forno LPCVD funziona come un recipiente a pressione che impone le sue condizioni: temperatura stabile, uniformità precisa e zero margine per escursioni di particelle. Una singola escursione di temperatura durante la deposizione di polisilicio o nitruri può manifestarsi come non uniformità di spessore su tutto il lotto. Un punto caldo può deviare i profili di fotoresist in modo non conforme nei moduli di bake adiacenti. L’elemento riscaldante del forno non è un semplice componente di supporto; è lo strumento termico che determina la reale ripetibilità del budget termico.

LPCVD on Extra Performance IR Heating

Elemento riscaldante del forno LPCVD