Riscaldatore per sonda di wafer semiconduttore

Fri, 03 Jul 2026 08:56:58 +0800

Nelle linee di produzione, un piccolo scostamento di mezzo grado durante il processo di ispezione dei wafer può trasformare un prodotto di qualità in rottame, senza che se ne abbia nemmeno consapevolezza. Quando il budget termico è limitato e i tempi di produzione non permettono errori, non c’è spazio per supposizioni.

Ciò che è importante sotto il profilo tecnico
Abbiamo progettato il riscaldatore per i wafer semiconduttori utilizzando un emettore a infrarossi a onde corte, abbinato a componenti in quarzo e ceramica a bassa massa termica. Questo garantisce una risposta istantanea, nonché una uniformità della temperatura pari a ±0,1°C nell’intera area di lavoro del wafer. La ripetibilità della temperatura tra uno stesso ciclo di produzione è di ±0,05°C; quindi i parametri di riscaldamento rimangono costanti, indipendentemente dalle variazioni di tensione. La piattaforma è progettata per funzionare in ambienti puliti di classe 1–100: le superfici sono elettropolite e sigillate, e la presenza di particelle viene controllata tramite strumenti specifici durante le verifiche iniziali. L’alimentazione rimane stabile entro l’intervallo di ±0,2%, anche quando la tensione di rete varia. Il riscaldatore può funzionare 24/7, senza interruzioni, anche nelle linee di produzione a più turni.

Sonda on Extra Performance IR Heating

Riscaldatore per sonda di wafer semiconduttore