http://ir-heat-extra.com/ja/tags/%E3%82%A8%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%BF%E3%83%BC/ Recent content in エミッター on Extra Performance IR Heating Hugo ja Thu, 04 Jun 2026 03:39:07 +0800 http://ir-heat-extra.com/ja/posts/ceramic-end-cap-for-ir-emitter/ Thu, 04 Jun 2026 03:39:07 +0800 http://ir-heat-extra.com/ja/posts/ceramic-end-cap-for-ir-emitter/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="赤外線エミッター用セラミックエンドキャップ"></p> <h1 id="現場での状況は理解しているはずですフォトレジストのベーク中に02cの温度ドリフトが発生するとクリティカルディメンションが規格外となり多数のウェハがスクラップになる可能性がありますリソグラフィ工程ではソフトベークとハードベークの両方で厳密な熱管理が求められエミッタースタックはサイクルごとに再現性のある熱を供給しなければなりません">現場での状況は理解しているはずです。フォトレジストのベーク中に0.2°Cの温度ドリフトが発生すると、クリティカルディメンションが規格外となり、多数のウェハがスクラップになる可能性があります。リソグラフィ工程ではソフトベークとハードベークの両方で厳密な熱管理が求められ、エミッタースタックはサイクルごとに再現性のある熱を供給しなければなりません。</h1> <h2 id="内部で重要なポイント">内部で重要なポイント</h2> <p>当社のIRエミッターアセンブリ用セラミックエンドキャップは、ミリ単位以下の熱場制御を核に設計されています。セラミック本体は発熱ゾーンの安定化を図り、マイクロアークやホットスポットを抑制します。また、形状によりウェハ全体に均一な電力分布を維持します。実際には、ベークゾーン全域で±0.1°Cの均一性と、ロット間で信頼できる再現性を<a href="https://goldisgood.com">実現</a>します。標準のハロゲン／NIRエミッター本体に問題なく組み込めるため、スペクトル出力は予測可能で、ソフトベークおよびハードベークの温度設定点も安定します。</p>