http://ir-heat-extra.com/ja/tags/%E3%82%BE%E3%83%BC%E3%83%B3%E5%88%86%E3%81%91%E3%81%95%E3%82%8C%E3%81%A6%E3%81%84%E3%82%8B/ Recent content in ゾーン分けされている on Extra Performance IR Heating Hugo ja Thu, 02 Jul 2026 08:57:34 +0800 http://ir-heat-extra.com/ja/posts/zoned-wafer-drying-infrared-panel/ Thu, 02 Jul 2026 08:57:34 +0800 http://ir-heat-extra.com/ja/posts/zoned-wafer-drying-infrared-panel/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="ゾーン型ウェーハ乾燥用赤外線パネル"></p> <p>ファブの現場では、5nmプロセスでは、わずかな誤差も許されません。ウェーハ上の0.3℃の温度差だけで、CD値が変わってしまい、エッチング後にフォトレジストの残留物が残ってしまいます。また、従来の乾燥方法では、端部分が依然として湿った状態になります。回転式の乾燥方法では溶剤が無駄に使われ、粒子の発生を防ぐのが難しいです。</p>