ガラスの破片が散乱するのを防ぐ：クォーツチューブを無事に保つ方法 高負荷の半導体製造装置において、赤外線ランプが爆発してしまうのは大変な問題です。装置が停止するだけでなく、部品もめちゃくちゃになってしまいます。ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハの上に降り注ぐ姿を想像してみてください。一度爆発すれ...

真空オーブン用ヒーター：ハイエンドウェーハ製造に最適化されている 私たちは、真空オーブン用ヒーターの分野でトップクラスの企業と競争しています。なぜなら、ハイエンドウェーハ製造が実際にどれほど厳しい要求を持っているかをよく理解しているからです。これは単なる宣伝ではありません。圧力がかかる状況でも、確...

製造現場では、フォトレジストを加熱する際に1℃の温度変動があるだけで、重要な寸法が変わってしまい、多くのウェーハが廃棄処分されてしまいます。私たちは、このような不確実性を完全に排除するために、半導体用の赤外線ヒーターを開発しました。 内部的に重要なポイント 石英製のケースを使用した短波長赤外線を利...

包装ラインにおいて、基板の温度は単なる調整可能なパラメータではありません。それは、再現性のある製造プロセスと不良品が生じる状況を分ける重要な要素です。もし加熱ランプの性能が低下したり、熱の偏りが生じたりすると、すぐに問題が顕著になります。例えば、ソフトベイク後のフォトレジストの形状が変わったり、ハ...