http://ir-heat-extra.com/ja/tags/%E6%B2%88%E6%AE%BF%E7%89%A9/ Recent content in 沈殿物 on Extra Performance IR Heating Hugo ja Sun, 21 Jun 2026 06:25:08 +0800 http://ir-heat-extra.com/ja/posts/cvd-chemical-vapor-deposition-heater/ Sun, 21 Jun 2026 06:25:08 +0800 http://ir-heat-extra.com/ja/posts/cvd-chemical-vapor-deposition-heater/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="CVD 化学気相成長 ヒーター"></p> <p>ファブ内では、CVDチャンバーの温度プロファイルは単なるパラメータではありません。それ自体がプロセスそのものなのです。ウェーハ表面で1℃の温度変動があれば、膜の応力が変わり、堆積速度が変化し、重要な寸法精度が乱れてしまいます。ヒーターの温度が安定しなくなると、生産が停止してしまいます。私たちは、現代のプロセスが要求する範囲内で温度をコントロールできるように、CVD用の赤外線ヒーターを<a href="https://o-yate.com">設計</a>しました。これは単なる願望に基づくものではなく、合理的な設計によって実現されています。</p>