http://ir-heat-extra.com/ja/tags/%E8%B6%85%E4%BC%9D%E5%B0%8E%E4%BD%93/ Recent content in 超伝導体 on Extra Performance IR Heating Hugo ja Wed, 17 Jun 2026 15:58:32 +0800 http://ir-heat-extra.com/ja/posts/superconductor-chip-fabrication-lamp/ Wed, 17 Jun 2026 15:58:32 +0800 http://ir-heat-extra.com/ja/posts/superconductor-chip-fabrication-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="超伝導チップ製造用ランプ"></p> <p>製造現場では、95℃でのフォトレジストのソフトベイク時にも、<a href="https://goldisgood.com">温度</a>が1.5℃も変動してしまうことがあります。その結果、次のリソグラフィ工程における線幅の制御が乱れてしまいます。超伝導チップの製造においては、このような温度変動は単なる歩留まりの低下にとどまらず、工程<a href="https://o-yate.com">全体</a>の<a href="https://henruite.com">失敗</a>につながります。</p> <h3 id="技術的に重要な点">技術的に<a href="https://o-yate.net">重要</a>な点</h3> <p>私たちは、超伝導チップの製造用ランプを、制御された放射加熱と高い熱均一性を実現するように設計しました。ウェーハ全体で±0.1℃の安定した温度を維持できるため、ソフトベイクでもハードベイクでも、フォトレジストが常に同じ温度にさらされます。</p>