http://ir-heat-extra.com/ja/tags/%E9%9B%BB%E5%9C%A7/ Recent content in 電圧 on Extra Performance IR Heating Hugo ja Thu, 18 Jun 2026 04:26:21 +0800 http://ir-heat-extra.com/ja/posts/voltage-regulator-for-fab-ir/ Thu, 18 Jun 2026 04:26:21 +0800 http://ir-heat-extra.com/ja/posts/voltage-regulator-for-fab-ir/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ファブIR用電圧レギュレータ"></p> <p>製造現場において、フォトレジストの焼成処理は単なる<a href="https://goldisgood.com">温度制御</a>のステップに過ぎません。実際には、これが歩留まりを<a href="https://henruite.com">左右</a>する重要な要素です。もしソフトベイクやハードベイクの際に赤外線ヒーターの温度が安定しなければ、ウェーハの寸法が変わってしまい、ウェーハが廃棄され、生産ラインが停止してしまいます。そこで、このような不安定さを解消するために、製造用の赤外線ヒーター用の電圧調整器を開発しました。この調整器により、ラインの電圧が変動しても<a href="https://o-yate.com">設定値</a>を保つことができ、結果として熱管理が適切に行われます。</p> <p><strong>技術的に重要な点</strong> この調整器は、クリーンルーム環境下で使用される赤外線ランプの負荷に合わせて設計されています。厳格なフィードバック制御により、安定した低ノイズの電力を供給します。その結果、焼成面全体で±0.1℃という高い熱均一性が得られ、CDのコントロールやフォトレジストの特性が安定します。また、余分な粒子が発生せず、材料やシール部品もクラス1～100のクリーンルーム環境でも問題なく機能します。24<a href="https://o-yate.net">時間</a>365日稼働しても、予期しない故障が起こらないように設計されており、寿命は数万時間に及びます。</p>