IR on Extra Performance IR Heating

ウェーハ用高精度IRセンサー

Tue, 21 Jul 2026 04:13:18 +0800

ウェハーを加熱する際に熱が無駄に消費されるのを防ぎましょう。
シリコンウェハーを加熱するには精度が重要です。しかし、一般的なIR装置を使ったことがある人なら、その問題をよく知っているでしょう。つまり、熱がウェハーに当たらず、真空チャンバーの内壁に直接当たってしまうのです。そうなると、機械の外側がとても熱くなり、人が火傷を負う危険があります。これは単なる無駄なエネルギーの浪費です。

ファブIR用電圧レギュレータ

Thu, 18 Jun 2026 04:26:21 +0800

製造現場において、フォトレジストの焼成処理は単なる温度制御のステップに過ぎません。実際には、これが歩留まりを左右する重要な要素です。もしソフトベイクやハードベイクの際に赤外線ヒーターの温度が安定しなければ、ウェーハの寸法が変わってしまい、ウェーハが廃棄され、生産ラインが停止してしまいます。そこで、このような不安定さを解消するために、製造用の赤外線ヒーター用の電圧調整器を開発しました。この調整器により、ラインの電圧が変動しても設定値を保つことができ、結果として熱管理が適切に行われます。

技術的に重要な点 この調整器は、クリーンルーム環境下で使用される赤外線ランプの負荷に合わせて設計されています。厳格なフィードバック制御により、安定した低ノイズの電力を供給します。その結果、焼成面全体で±0.1℃という高い熱均一性が得られ、CDのコントロールやフォトレジストの特性が安定します。また、余分な粒子が発生せず、材料やシール部品もクラス1～100のクリーンルーム環境でも問題なく機能します。24時間365日稼働しても、予期しない故障が起こらないように設計されており、寿命は数万時間に及びます。

赤外線ランプ用アルミリフレクター

Sat, 06 Jun 2026 04:06:52 +0800

ファブフロアにおいて、フォトレジストの焼き付けは単なる任意の熱処理工程ではなく、ライン幅スペックの達成とロット廃棄の境界線である。IRランプがドリフトし始めると、ソフトベイクやハードベイクも連動して影響を受ける。溶剤がきれいに蒸発せず、露光の許容度が崩壊する。この状況でアルミニウムリフレクターの役割が重要になる。これは、生の放射エネルギーを安定かつ再現性のある熱場に変換し、ウェハ全体に均一に伝える。

赤外線エミッター用セラミックエンドキャップ

Thu, 04 Jun 2026 03:39:07 +0800

現場での状況は理解しているはずです。フォトレジストのベーク中に0.2°Cの温度ドリフトが発生すると、クリティカルディメンションが規格外となり、多数のウェハがスクラップになる可能性があります。リソグラフィ工程ではソフトベークとハードベークの両方で厳密な熱管理が求められ、エミッタースタックはサイクルごとに再現性のある熱を供給しなければなりません。

内部で重要なポイント

当社のIRエミッターアセンブリ用セラミックエンドキャップは、ミリ単位以下の熱場制御を核に設計されています。セラミック本体は発熱ゾーンの安定化を図り、マイクロアークやホットスポットを抑制します。また、形状によりウェハ全体に均一な電力分布を維持します。実際には、ベークゾーン全域で±0.1°Cの均一性と、ロット間で信頼できる再現性を実現します。標準のハロゲン／NIRエミッター本体に問題なく組み込めるため、スペクトル出力は予測可能で、ソフトベークおよびハードベークの温度設定点も安定します。