Tool on Extra Performance IR Heating

ウェーハ加工ツール用温度センサー

Thu, 09 Jul 2026 03:56:48 +0800

序論

ウェーハを処理する際、温度というのは単なる画面上の数値に過ぎません。それは、完璧な製造ができるか、それとも全量が廃棄されるかの分かれ目なのです。だからこそ、私たちはこの温度センサーを開発しました。その目的は、エネルギーの1ワットたりとも、必要な場所で、必要なタイミングに正確に届けることです。その秘訣は、高効率な金コーティングと、熱を正確に集中させる仕組みにあります。これらによって、無駄なエネルギーが削減され、安定した、予測可能な反応が得られます。

ファブツール修理用赤外線ヒーター

Mon, 01 Jun 2026 02:33:14 +0800

製造現場では、修理ベンチは任意ではなく、生産ラインに工具が戻る前の最終関門である。わずか1度のズレがウェハのドリフトとして現れる。ヒーターが温度を維持できなければ修理に時間がかかり、工具は稼働停止し、スケジュールに遅れが生じる。ヒーターが汚れていれば、粒子がチャンバー内に入り込み、次のロットにフォトレジスト欠陥が発生する可能性がある。工具修理においてヒーターは単に部品を温めるだけでなく、クリーンな復帰とコストのかかる手直しの境界線を決める役割を持つ。