클래스 100 클린룸을 진정으로 깨끗하게 유지하는 방법
만약 클래스 100 클린룸을 운영하고 있다면, 그 어려움을 잘 알고 있을 것입니다. 조금이라도 먼지가 생기면 전체 웨이퍼가 버려지게 됩니다. 정말 스트레스가 많죠.
문제는 대부분의 가열 요소들이 사실상 더러워져 있다는 점입니다. 정확히 안정적인 상태를 유지해야 할 때 오히려 가스나 입자가 방출됩니다. 그래서 우리는 고순도 석영 인프라레드 램프와 테플론으로 절연된 전선을 사용합니다. 이것이 가장 합리적인 방법입니다.
고순도 석영의 장점
우리는 램프의 외관을 구성하는 데 합성된 고순도 석영을 사용합니다. 왜냐하면 금속 이온이 새어나오지 않으며, 고온에서도 결정화되지 않기 때문입니다.
이러한 램프는 단파장의 인프라레드 방사선을 방출합니다. 이것이 바로 핵심입니다. 부품 주위의 공기가 뜨거워지지 않아도 목표 온도에 금방 도달할 수 있습니다. 공기가 움직이지 않으면 먼지가 날리는 현상도 없어집니다.
테플론을 사용하는 이유
대부분의 전선은 PVC나 실리콘으로 만들어집니다. 하지만 고온 환경에서는 이러한 재료들이 녹거나 가스가 발생합니다. 그건 좋지 않습니다.
우리는 대신 테플론(PTFE)을 사용합니다. 테플론은 고온에도 견딜 수 있으며, 미세 플라스틱도 방출하지 않습니다. 화학적으로도 안정적이므로, 진공 상태나 클린룸에서도 전선을 연결할 수 있으며, 오염에 대해 걱정할 필요가 없습니다.
주의해야 할 몇 가지 사항
고밀도 IR 가열은 매우 빠르지만, 특정 부분에 강한 열이 발생할 수 있습니다.
그러므로 마운팅 브래킷은 반드시 가스가 방출되지 않는 재료로 만들어져야 합니다. 또한 냉각 시스템도 잘 관리해야 합니다. 램프 주변이 너무 뜨거워지면 전기 커넥터가 예상보다 빨리 손상될 수 있습니다.
도구에 적용하는 방법
이러한 램프들은 기존의 반도체 처리나 건조 공정에 그대로 사용될 수 있습니다. 석영 외관과 테플론 전선을 함께 사용하면, 전체 가열 시스템이 항상 깨끗하게 유지됩니다. 필요한 에너지를 얻을 수 있으면서도, 먼지로 인해 제품 품질이 저하되는 것을 걱정할 필요가 없습니다.