http://ir-heat-extra.com/ko/tags/%EA%B0%90%EA%B4%91%EC%A0%9C/ Recent content in 감광제 on Extra Performance IR Heating Hugo ko Mon, 08 Jun 2026 05:10:56 +0800 http://ir-heat-extra.com/ko/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ Mon, 08 Jun 2026 05:10:56 +0800 http://ir-heat-extra.com/ko/posts/photoresist-soft-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="포토레지스트 소프트 베이크 램프"></p> <p>공정 현장에서는 소프트 베이크가 예열 과정이 아니다. 그것은 리소그래피 예산을 설정하는 단계다, 끝. 온도 불균일은 CD 변이로 나타나고, 용매 잔류는 풋팅, 스컴, 또는 라인 엣지 러프로 돌아온다. 베이크 조건이 흔들리면 전체 공정이 위험해진다.</p>