http://ir-heat-extra.com/ko/tags/%EA%B1%B4%EC%A1%B0/ Recent content in 건조 on Extra Performance IR Heating Hugo ko Mon, 27 Jul 2026 06:36:42 +0800 http://ir-heat-extra.com/ko/posts/achieving-zero-contamination-heating-for-mems-wafer-drying-via-high-purity-quartz-ir-lamps/ Mon, 27 Jul 2026 06:36:42 +0800 http://ir-heat-extra.com/ko/posts/achieving-zero-contamination-heating-for-mems-wafer-drying-via-high-purity-quartz-ir-lamps/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터"></p> <p>MEMS 웨이퍼를 올바르게 건조시키는 방법 (오염 문제 없이)<br> MEMS 센서를 건조할 때, 열만으로는 충분하지 않습니다. 진짜 문제는 미세한 입자들입니다.<br> 만약 클래스 100급 청정실에서 작업한다면, 조금이라도 가스가 빠져나오거나 가열 요소에서 미세한 입자들이 나오면, 전체 웨이퍼가 버려지게 됩니다. 이는 매우 스트레스가 큰 작업 방식입니다. 그래서 우리는 고순도의 합성 석영 IR 램프를 사용합니다.</p> http://ir-heat-extra.com/ko/posts/energy-audit-for-fab-drying/ Thu, 23 Jul 2026 11:52:57 +0800 http://ir-heat-extra.com/ko/posts/energy-audit-for-fab-drying/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="공장 건조 시설의 에너지 진단"></p> <p><strong>왜 반도체 제조 공장들이 오븐 대신 적외선을 사용하는가?</strong><br> 최근 반도체 제조 공장을 방문해보셨다면 분명히 눈치채셨을 것입니다. 그 크고 무거운 대류식 오븐들이 점점 사라지고 있습니다. 사람들은 적외선을 이용한 경화 방식으로 전환하고 있습니다. 왜냐하면, 작은 실리콘 부품을 건조시키기 위해 온 방 전체를 가열하는 것은 에너지 낭비일 뿐입니다. 적외선은 직접 기판에 작용하기 때문에, 요즘에는 “친환경적”이거나 “납이 없는” 제품들이 거의 항상 적외선 기술을 사용합니다.</p> http://ir-heat-extra.com/ko/posts/zoned-wafer-drying-infrared-panel/ Thu, 02 Jul 2026 08:57:34 +0800 http://ir-heat-extra.com/ko/posts/zoned-wafer-drying-infrared-panel/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="구역별 웨이퍼 건조용 적외선 패널"></p> <p>팹 내에서는 5nm 공정에서는 제어의 여지가 거의 없습니다. 웨이퍼 전체에 걸쳐 0.3°C 정도의 온도 차이가 생기면 CD 값이 변하고, 에칭 후에는 포토레지스트 잔여물이 남게 됩니다. 그리고 일반적인 건조 방식은 어떨까요? 가장자리 부분은 여전히 습하기 마련입니다. 회전만을 이용하는 방식은 용매를 낭비할 뿐만 아니라, 입자 발생 문제로 인해 야간에도 작업을 중단해야 합니다.</p>