http://ir-heat-extra.com/ko/tags/%EB%A1%9C/ Recent content in 로 on Extra Performance IR Heating Hugo ko Sat, 27 Jun 2026 04:57:25 +0800 http://ir-heat-extra.com/ko/posts/high-temp-furnace-for-fab-lab/ Sat, 27 Jun 2026 04:57:25 +0800 http://ir-heat-extra.com/ko/posts/high-temp-furnace-for-fab-lab/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="팹랩용 고온 용광로"></p> <p>제조 현장에서는 ‘소프트 베이크’와 ‘하드 베이크’가 공정의 흐름을 결정합니다. 온도 조절은 단순히 조절할 수 있는 변수가 아니라, 반드시 준수해야 할 규칙입니다. 웨이퍼의 온도가 2°C만 변해도 중요한 치수들이 변할 수 있으며, 챔버 내의 단 한 개의 미세한 입자만으로도 300mm 크기의 웨이퍼가 손상될 수 있습니다. 우리는 이러한 현실을 고려하여 고온 오븐을 설계했습니다. 즉, 이 오븐은 그러한 상황과 싸우는 것이 아니라, 그 상황에 적응할 수 있도록 만들어진 것입니다.</p> http://ir-heat-extra.com/ko/posts/lpcvd-furnace-heating-element/ Sun, 31 May 2026 04:52:45 +0800 http://ir-heat-extra.com/ko/posts/lpcvd-furnace-heating-element/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="LPCVD 퍼니스 가열 요소"></p> <p>라인에서 <a href="https://goldisgood.com">LPCVD</a> 퍼니스는 압력 용기처럼 작동하며 안정적인 온도, 엄격한 균일성, 그리고 입자 편차가 전혀 허용되지 않는다. 폴리실리콘 또는 나이트라이드 증착 중 단 한 번의 온도 편차도 로트 전체의 두께 불균일로 나타날 수 있다. 인접한 베이크 모듈에서 핫스팟은 포토레지스트 프로파일을 목표에서 벗어나게 할 수 있다. 퍼니스 가열 요소는 단순한 백그라운드 하드웨어가 아니라, 열 예산의 반복성을 결정하는 열 제어 장치이다.</p>