http://ir-heat-extra.com/ko/tags/%EC%95%8C%EB%A3%A8%EB%AF%B8%EB%8A%84/ Recent content in 알루미늄 on Extra Performance IR Heating Hugo ko Sat, 06 Jun 2026 04:06:52 +0800 http://ir-heat-extra.com/ko/posts/aluminum-reflector-for-ir-lamp/ Sat, 06 Jun 2026 04:06:52 +0800 http://ir-heat-extra.com/ko/posts/aluminum-reflector-for-ir-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="적외선 램프용 알루미늄 리플렉터"></p> <p>Fab 라인에서 포토레지스트 베이킹은 선택적인 열처리 단계가 아니라, 선폭 규격 달성과 전량 폐기 사이의 경계선이다. IR 램프가 편차를 시작하면, 소프트 베이크와 하드 베이크도 영향을 받는다. 용제가 완전히 휘발되지 않고, 노광 허용 범위가 무너진다. 이때 알루미늄 반사체가 중요한 역할을 한다. 원래의 복사 에너지를 웨이퍼 전반에 걸쳐 안정적이고 재현 가능한 열장으로 변환한다.</p>