공장 건조 시설의 에너지 진단
왜 반도체 제조 공장들이 오븐 대신 적외선을 사용하는가?
최근 반도체 제조 공장을 방문해보셨다면 분명히 눈치채셨을 것입니다. 그 크고 무거운 대류식 오븐들이 점점 사라지고 있습니다. 사람들은 적외선을 이용한 경화 방식으로 전환하고 있습니다. 왜냐하면, 작은 실리콘 부...
에너지 절약형 반도체 히팅
유리 조각의 피해를 막아라: 쿼츠 관을 안전하게 보호하기
고부하가 걸리는 반도체 제조 환경에서는 적외선 램프가 폭발하는 것은 정말 큰 문제입니다. 단순히 기계가 멈추는 것뿐만 아니라, 유리 조각과 할로겐 가스가 웨이퍼 위로 쏟아지게 됩니다. 한 번만 폭발해도 모든 웨...
에너지 효율적인 웨이퍼 가열기
서론 우리는 반도체 공장에서 발생할 수 있는 가혹한 환경을 견딜 수 있는 웨이퍼 히터를 개발했습니다. 이 장비의 핵심은 고출력 할로겐 램프입니다. 이 램프는 빠르고 정확하며, 매우 강력한 성능을 자랑합니다. 하지만 우리가 가장 자랑스러워하는 점은 바로 전기 안전성입니...