http://ir-heat-extra.com/ko/tags/%EC%A6%9D%EA%B8%B0/ Recent content in 증기 on Extra Performance IR Heating Hugo ko Sun, 21 Jun 2026 06:25:08 +0800 http://ir-heat-extra.com/ko/posts/cvd-chemical-vapor-deposition-heater/ Sun, 21 Jun 2026 06:25:08 +0800 http://ir-heat-extra.com/ko/posts/cvd-chemical-vapor-deposition-heater/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="CVD(화학 기상 증착) 히터"></p> <p>제조 공장에서 CVD 챔버의 열 프로파일은 단순한 파라미터가 아닙니다. 그것 자체가 바로 공정의 핵심입니다. 웨이퍼 표면의 온도가 1°C만 변해도 필름의 응력이 변하고, 증착 속도도 달라지며, 치수 제어도 정상 범위를 벗어날 수 있습니다. 히터의 온도가 변하면 생산이 중단됩니다. 저희는 현대적인 공정 요구사항에 부합하는 열 특성을 유지하기 위해 CVD용 적외선 히터를 설계했습니다. 이는 단순한 희망사항이 아니라 실제 설계를 통해 이루어진 것입니다.</p>