http://ir-heat-extra.com/ko/tags/%ED%8C%A8%EB%B8%8C/ Recent content in 패브 on Extra Performance IR Heating Hugo ko Mon, 01 Jun 2026 02:33:14 +0800 http://ir-heat-extra.com/ko/posts/infrared-heater-for-fab-tool-repair/ Mon, 01 Jun 2026 02:33:14 +0800 http://ir-heat-extra.com/ko/posts/infrared-heater-for-fab-tool-repair/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="팩토리 장비 수리를 위한 적외선 히터"></p> <p>제조 현장에서 수리 벤치는 선택 사항이 아니다—이는 장비가 다시 생산에 투입되기 전 마지막 관문이다. 단 1도만 벗어나도 웨이퍼에 드리프트가 발생한다. 히터가 온도를 유지하지 못하면 수리가 길어지고, 장비는 유휴 상태에 놓이며, 일정이 밀리기 시작한다. 히터가 오염되면 입자가 챔버 내부로 유입되어 다음 로트에서 포토레지스트 결함이 발생할 수 있다. 장비 수리에서 히터는 단순한 부품 가열기가 아니다. 이는 깨끗한 복귀와 비용이 많이 드는 재작업 간의 경계를 설정한다.</p>