http://ir-heat-extra.com/ko/tags/ir/ Recent content in IR on Extra Performance IR Heating Hugo ko Tue, 21 Jul 2026 04:13:18 +0800 http://ir-heat-extra.com/ko/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Tue, 21 Jul 2026 04:13:18 +0800 http://ir-heat-extra.com/ko/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="웨이퍼용 고정밀 IR 센서"></p> <p>와이어 프레스 도구에 낭비되는 열을 막아보세요.<br> 실리콘 웨이퍼를 가열할 때는 정확성이 매우 중요합니다. 하지만 일반적인 IR 장비를 사용해본 사람이라면 그 문제점을 잘 알 것입니다. 바로 낭비되는 열입니다.<br> 그 성가신 적외선 에너지는 웨이퍼에 전혀 닿지 않고 진공 챔버의 내벽에 부딪힙니다. 결국 기계의 외부가 너무 뜨거워져서 사람이 다칠 수도 있으며, 에너지도 낭비됩니다.<br> 이 문제를 해결하기 위해서는 열이 어디로 가는지를 신중하게 고려해야 합니다.</p> http://ir-heat-extra.com/ko/posts/aluminum-reflector-for-ir-lamp/ Sat, 06 Jun 2026 04:06:52 +0800 http://ir-heat-extra.com/ko/posts/aluminum-reflector-for-ir-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="적외선 램프용 알루미늄 리플렉터"></p> <p>Fab 라인에서 포토레지스트 베이킹은 선택적인 열처리 단계가 아니라, 선폭 규격 달성과 전량 폐기 사이의 경계선이다. IR 램프가 편차를 시작하면, 소프트 베이크와 하드 베이크도 영향을 받는다. 용제가 완전히 휘발되지 않고, 노광 허용 범위가 무너진다. 이때 알루미늄 반사체가 중요한 역할을 한다. 원래의 복사 에너지를 웨이퍼 전반에 걸쳐 안정적이고 재현 가능한 열장으로 변환한다.</p>