http://ir-heat-extra.com/ko/tags/mems/ Recent content in MEMS on Extra Performance IR Heating Hugo ko Mon, 27 Jul 2026 06:36:42 +0800 http://ir-heat-extra.com/ko/posts/achieving-zero-contamination-heating-for-mems-wafer-drying-via-high-purity-quartz-ir-lamps/ Mon, 27 Jul 2026 06:36:42 +0800 http://ir-heat-extra.com/ko/posts/achieving-zero-contamination-heating-for-mems-wafer-drying-via-high-purity-quartz-ir-lamps/ <p><img src="http://ir-heat-extra.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터"></p> <p>MEMS 웨이퍼를 올바르게 건조시키는 방법 (오염 문제 없이)<br> MEMS 센서를 건조할 때, 열만으로는 충분하지 않습니다. 진짜 문제는 미세한 입자들입니다.<br> 만약 클래스 100급 청정실에서 작업한다면, 조금이라도 가스가 빠져나오거나 가열 요소에서 미세한 입자들이 나오면, 전체 웨이퍼가 버려지게 됩니다. 이는 매우 스트레스가 큰 작업 방식입니다. 그래서 우리는 고순도의 합성 석영 IR 램프를 사용합니다.</p>